柳河多級泵是靠泵腔容積的（de）變（biàn）化來實（shí）現吸（xī）氣、壓（yā）縮（suō）和（hé）排氣的，依靠的旋（xuán）轉在獲取離心力，柳河多級泵（bèng）是的一種。柳河多級（jí）泵按結構可以分為很多種，每種結構原理都不一樣。
一、餘擺線式
在柳河多級泵腔內偏心裝有一個型線為餘擺線（xiàn）的轉（zhuǎn）子（zǐ），它（tā）沿泵腔內壁轉動並將泵腔分成兩個可變容（róng）積。泵（bèng）的動平衡性好（hǎo），所以運轉較平穩、振動亦小（xiǎo），轉速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發展為大抽速的機械柳河多級泵。由於吸氣管（guǎn）路（lù）短而粗，有（yǒu）利於提高柳河多級泵低（dī）壓力下的抽速。
二、定片式
定片（piàn）式柳河多級泵在內裝有一個與柳河多（duō）級泵內（nèi）表麵靠近的偏心轉子，上裝（zhuāng）有一個始終與（yǔ）轉子表麵接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑（huá）片能上、下滑動將柳河多（duō）級泵（bèng）腔分成兩個可變容積。定片式柳河多級泵抽（chōu）速較小，有單級、雙級之分，泵（bèng）的極限真空可（kě）達10-1Pa。柳河多級泵的結構簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由於其工作性能不如旋片泵，所以目前已經很少生產和應用。
三、旋片式（shì）
旋片式柳河多級泵轉子以一定的偏心距裝在（zài）多級內並與內（nèi）表麵的固定麵靠近（jìn），在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往複滑（huá）動且與內壁始終（zhōng）接觸，此旋片（piàn）隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。旋（xuán）片式泵屬於低柳（liǔ）河多級泵（bèng）。它（tā）可以單獨使用，也可以作為其他高或超高柳河多級泵的前級泵。旋片柳河多級（jí）泵多為中小型（xíng）泵，產品已經係列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做（zuò）成雙級的，以獲得較高的泵度。旋片柳河多級泵絕大（dà）多數是單（dān）工作腔結構，常用（yòng）兩個（gè）徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片柳河多級泵也有應用。
四、滑閥式（shì）
滑閥式柳河（hé）多級泵在偏心轉子外部裝有一（yī）個滑（huá）閥，轉子旋轉帶動滑（huá）閥（fá）沿（yán）內壁滑動和滾動，滑（huá）閥上部的滑（huá）閥（fá）杆能在可擺動的滑閥導軌中滑（huá）動（dòng），而（ér）把柳河（hé）多級（jí）泵腔分成兩個可變容積。滑閥式柳河多（duō）級泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式泵是利用滑（huá）閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥柳河多級泵。
五、多級噴射泵
常單級（jí）噴射器的（de）由兩個或兩（liǎng）個以上的噴射器和冷凝器串（chuàn）聯組成，稱（chēng）為多級（jí）噴射泵。冷凝器的作用是將混（hún）合物（wù）中的可凝性蒸汽部分（fèn）凝結（jié）排除，以減少下級噴射器的負荷。
冷凝器安裝（zhuāng）在 級噴射器入口前，主要為了減少（shǎo） 級泵的負荷。隻有當被抽混合物中含有大量的可凝性蒸汽，並且其（qí）蒸汽分壓強大於冷卻水（shuǐ）溫所對應的飽和蒸汽壓時方可使（shǐ）用。中間冷凝器（qì）安裝在柳（liǔ）河多（duō）級泵中間，具體位置應視（shì）進入冷凝器的混合（hé）物中的蒸汽分壓強及冷（lěng）卻水溫（wēn）而定，其作用是減少下（xià）級泵的負荷。後冷凝器安裝在（zài）末級噴射器之後，主要是為了消除末（mò）級噴射器的廢氣、噪聲，有時用來回收未級噴射（shè）器的（de）餘熱
