內丘多級泵是靠泵腔（qiāng）容積的變化來實現吸氣、壓（yā）縮和排氣的，依靠的旋轉在獲取離心力，內丘多級泵是（shì）的一種。內（nèi）丘多級泵按結構可以分為很多種，每種結構原理都不一樣。
一、餘擺線式（shì）
在內丘（qiū）多級泵腔內偏心裝有一個型（xíng）線為餘擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動並將泵腔分成兩個可變容積。泵的動平衡性好，所以運轉較平穩（wěn）、振動亦小，轉速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發（fā）展為大抽速的（de）機械內丘多級（jí）泵。由於吸氣管路短而粗，有（yǒu）利（lì）於提高內丘多（duō）級泵低壓力下的抽（chōu）速。
二、定片式
定（dìng）片式內丘多級泵在內裝有（yǒu）一個與內丘多級泵內表麵靠近的偏心轉子，上裝（zhuāng）有一個始終與轉子表麵接觸（chù）的徑向滑片，當轉（zhuǎn）子旋轉時（shí），滑片能（néng）上、下滑動將內丘多級（jí）泵腔分成兩個可變容積。定片式內丘（qiū）多級泵抽速較小，有單級、雙級之分，泵的極限真空可（kě）達10-1Pa。內丘多級泵的結構簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由於其工作性能（néng）不如旋片（piàn）泵，所以目前已經很少生產和應用。
三、旋片式
旋片式內丘（qiū）多級泵轉子以一定的偏心距裝在多級內並與內表（biǎo）麵（miàn）的固定麵靠近，在轉（zhuǎn）子槽內裝有兩個(或兩個以（yǐ）上)旋片（piàn），當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往（wǎng）複（fù）滑動且與內壁始終接觸，此旋片隨（suí）轉子一起旋轉（zhuǎn），可將泵腔分成幾個可變容（róng）積。旋（xuán）片式泵屬於低內丘多級（jí）泵。它可以單獨使用，也（yě）可以作為其他高或超高內丘多級泵的前級泵。旋片內丘多（duō）級泵多為中小型泵（bèng），產品已經係列化（huà）。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的泵度。旋片內丘多級泵絕大多數是單工（gōng）作（zuò）腔結構，常用兩個徑向（xiàng）滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片內丘多級（jí）泵（bèng）也有應用。
四、滑閥式
滑（huá）閥（fá）式內丘多級泵在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥杆能在可（kě）擺動的滑閥導軌中滑動，而把內丘多級泵腔分成兩個可變容積。滑（huá）閥式內丘多級泵的抽氣原（yuán）理（lǐ）與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式泵是利用滑閥（fá）機構來（lái）改變吸氣腔（qiāng）容積的，故稱滑閥內丘多級泵。
五（wǔ）、多級（jí）噴射泵
常單級噴射器（qì）的由兩（liǎng）個或兩個以上的噴射器和冷凝器串聯（lián）組成，稱為（wéi）多級噴射泵。冷（lěng）凝器的（de）作用是將混合物中的可凝性蒸汽部分凝結排除（chú），以減（jiǎn）少下級噴射器的負荷（hé）。
冷凝器安裝在 級噴射器入口前，主要為了減少 級泵的負荷。隻有當被抽混合物中含有（yǒu）大量的可凝性蒸汽，並且其蒸汽分壓強大於冷卻水溫（wēn）所（suǒ）對應的飽和蒸汽壓時方可使用。中間冷凝器安裝在內（nèi）丘多級泵中間，具體位置應（yīng）視進入冷凝器的混合（hé）物中的蒸汽分壓強及冷卻水溫而定，其作用是減少下（xià）級泵的負荷。後冷凝器（qì）安裝在末級噴射器（qì）之後，主要（yào）是為了消除末級噴射器（qì）的（de）廢氣、噪（zào）聲，有時用來回收未級噴射器的餘熱
